半导体FAB 中高纯气中水分监测

半导体行业对所使用的高纯惰性气体所含微量水分的要求日趋严格，已经达到了ppbV级（相当于-100oC 露点）。针对如此苛刻的要求，密析尔仪表提供的解决方案包括PUR-TX 和PUR-PS。PUR-TX 是一款为半导体运用而研制的高纯气体露点变送器，PUR-TX 提供了简便，经济而且高效率的微量水分测量解决方案。

技术参数是：

量程：-120oC~+20oC 露点   精度：1.0 oC 露点

输出：4~20 mA，RS485     包装：洁净100 级

工作压力：24MPa

PUR-PS 是密析尔仪表转为响应当前芯片制造业的要求而推出的，针对高纯气管路中的微量水分异动提供了一个切实有效的预警系统：PUR-PS 具有对ppb 级的微量水分变化做出快速响应的高灵敏度；小巧的外形，经济的价格，使之适合在复杂的管路中多点安装；敏捷的反应速度，PUR-PS 可以胜任实时监控的挑战性任务。